爱德华真空泵厂家供应明胜真空「明胜机电」

沦分子泵是一套超高速、超真空的装置，它的旋转速度高达90000RPM（1500转／秒），形成的超真空度可以低到5x10-10Pa以下（十亿分之二个大气压），并且它设计紧凑，体积小，重量轻。主要有两个系列：STP和EXT，主要区别是EXT系列的回转轴承是陶瓷的，而STP系列的回转轴承是用磁性材料制成的。该泵是油封的，旨在于实验室和工业环境中都能进行可靠的长期运行。

五、罗兹泵

EDWA***在***早推出高抽速的罗茨泵，其抽气率从240m3／h到4500m3／h，极限真空10-3mbar。在低真空中有很好的抽气率，常串油式或干式泵使用

六、真空计

爱德华真空计测量范围从2000-10-11mbar，内设***的微处理器控制；

化学气相沉淀化学气相沉淀 (CVD) 系统具有 多种配置用于沉积多种类型的薄膜。制程 还以不同的压力和流量状态运行，其中的许多状态 都使用含氟的干燥清洁制程。所有这些可变因素意味着您 需要咨询我们的应用工程师之一来选择适当的泵 和气体减排系统以便大程度地延长我们产品的维修间隔并 延长您制程的正常运行时间。惠州市明胜机电设备有限公司制造销售各种真空泵，并提各类真空泵维修***服务（罗茨，螺杆，旋片式，干式，水环式等真空泵维修***）以及各类进口真空泵配件耗材。

干泵选择

CVD 制程通常需要通过选择适当的 干泵产品来克服四个特定挑战。这些挑战是：

粉末

许多制程会产生 大量粉末副产品。需要将真空泵设计成 能够处理这些粉末而不被卡住。在某些情况下，粉末实际上可能 很粘或需要高温运行才能确保粉末中夹带的其他 副产品不在泵内部冷凝并卡住泵机构。 对于几乎所有产生粉末的制程，您将不得不使用 采用高扭矩电机的泵，以确保泵在应力下保持 旋转。爱德华70#真空泵油特性：真空泵油具的氧化稳定性，长期在高温条件下与空气、树脂、化学原料等直接接触亦不易变质，减少***漆膜和油垢的形成，提供较长的换油周期。

冷凝

半导体 制程的某些副产品含有气体，当气体分压 增加或与冷表面接触时，这些气体会从气 相变为固相。在泵送这些副产品时， 您将需要非常热的泵，是从入口到出口 具有尽可能一致的温度分布的泵。

腐蚀

有些制程 需要泵送卤化物。尤其是需要含氟的清洁制程来 保持舱室的清洁性，但被激的氟自由基 可能会侵蚀泵的内表面。如果制程主要使用 可能对泵造成腐蚀的***，您需要确保可以 将泵温度设置为一个较低值以降低腐蚀风险。我们的泵设计 具有可选的温度设和高旋转 速度以降低腐蚀风险并降低泵中不可避免 发生的总体材料损失速率。对于某些 CVD 制程，需要在温度设上 达到平衡，以确保避免任何冷凝问题， 同时不使腐蚀速度过高。机械增压泵在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度可靠。

在真空泵机组定期一切换过程中，多次发生过类似异常。在备用真空泵机组启动、原运行泵停运后。凝汽器真空便开始缓慢下降，约15~30min后可下降5~6kPa，在此过程中，发现气水分离器内处于负压状态，这是一种异常现象。好凯德真空科技分析认为，真空泵机组工作不正常，导致喷射器抽吸力降低，使得凝汽器真空下滑。我们专注于真空领域的技术进展，并***于研发，因此能够开发满足您的特定应用要求的创新产品。

真空泵是一种较为精密的机械设备，用户在使用过程中，真空泵抽真空难免出现抽气量不足或者真空度不高的现象，引起这些现象的原因是很多的。

真空泵真空度降低该怎么办？

真空泵真空度降低的故障原因：管道密封不严，有漏气的地方;密封填料磨损;叶轮与端盖的间隙过大;水环温度过高(一般不应超过40℃)。

真空泵真空度降低的排除方法：拧紧法兰螺钉或更换衬套;更换填料;调整间隙(一般应为0.15～0.2mm);增加水量并降低进水温度。