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爱德华真空泵报价真空系统设计招标 明胜机电真空泵

发布时间:2021-11-10 23:59:07        









真空泵转子与静止件轴向摩擦的振动机理

  理论研究和试验表明,转子与精致件发生轴向摩擦时,真空泵转子的振动特征几乎与正常状况一致,没有明显的异常特征,所以诊断轴向摩擦时,不能用波形、轴心轨迹和频谱方法去识别,必须寻求新的铭感参数。

  真空泵轴向干摩擦力与旋转速度有关,由于轴向干摩擦的作用使基频影响相对下降,同时有高频成分出现,所以轴向干摩擦具有阻尼的特性。轴向干摩擦力的打小正比于转子与静止间的干摩擦因数和轴向力。轴向干摩擦阻尼远大于径向摩擦

阻尼,由于轴向干摩擦会引起系统阻尼的显著增加,因此系统阻尼的变化可作为轴向摩擦的识别特征。

  另外,摩擦会造成成功耗上升和效率下降,同时局部会有温升,因此工艺参数对转子与静止件轴向摩擦的故障诊断非常重要


爱德华真空泵轴承的检修标准

   爱德华真空泵相对其他单级选片式真空泵具有更高的精度,同时结构相对来讲比较复杂,所以我们在爱德华真空泵维修时需要制作精度较高的工具来对泵浦进行拆卸、安装,下面就其轴承的检修与装配跟大家交流下。

   拆卸轴承应使用工具,安装时不得用锤直接敲击轴承,需敲击时必须垫以软金属。

   装配轴承时,应先检查轴承质量、配合尺寸偏差等是否符合要求。

   轴承内圈端面应与轴肩靠紧

   轴承采用加热安装时,加热可采用油浴,油温不超过100-120度,轴承油浴时间10-15Min,严禁用火焰直接加热轴承。


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半导体加工我们继续革新技术解决方案,这些解决方案将会提升制程正常运转时间、产量、吞吐量与安全认证水平,同时通过减轻不利于环境的排放、延长产品使用寿命并降低持续服务成本,努力协调平衡往往相互冲突的更低拥有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM,以及***每一家主要半导体工厂都采用了我们的系统,因为它们能够满足成熟制程与发展中制程的具体要求。提供干式真空泵、涡轮分子泵与使用点减排系统等各种系统,用来优化从轻负荷制程到超重负荷制程的各项应用的性能表现。 平版印刷平版印刷(即晶圆的图案形成)是半导体 制程中的一个关键步骤。在低真空中有很好的抽气率,常串油式或干式泵使用六、真空计爱德华真空计测量范围从2000-10-11mbar,内设***的微处理器控制。虽然传统甚至浸润式平版印刷 一般不需要真空环境,但远紫外 (EUV) 平版印刷和电子束平版印刷却需要真空 泵。Edward可以让您有效应对这两种应用。

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多重图案形成技术有其存在的价值, 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷,因为轻型 EUV 系统 提供极短的波长。要让您的系统具有 性能,真空环境是关键。传动轴杆上安装有工业级滚柱轴承,可靠性极高,使用寿命和无故障工作时间也更长5。真空系统的 清洁性尤其重要,它有助于延长维修间隔。我们 与 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作开发了 精密真空系统,可为您进行的大型***提供 可靠性。

电子束平版印刷解决方案

电子束平版印刷在硅晶片的图案形成中 具有重要作用。低振动的清洁真空对于确保系统的精密性 和长正常运行时间至关重要。

我们的产品解决方案

您可能需要使用涡轮分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上实现超高真空。我们的 STP 系列 TMP 采用 完全磁悬浮转子以降低舱室污染风险并延长 维修间隔。2kW/3hp60Hz3kW/4hp标准油量推荐用油Ultragrade70噪音级别70dB(A)。目前开发的产品通过将控制器集成到 泵本身中来降低总成本和占地面积,不再需要 外部控制器和控制器与泵之间的沉重控制 电缆。


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