爱德华干式真空泵报价进口真空泵维修「多图」

EM 系列泵是结实耐用的机械油封泵，抽速为 0.7 到 275 m3/hr（30 到 206 CFM）。化学气相沉淀化学气相沉淀(CVD)系统具有多种配置用于沉积多种类型的薄膜。这些泵结构紧凑，使用时非常安静，具备***的润滑回路，可靠性高，配有各种附件，可以满足特定的应用需求。 Edwa*** E2M80 油封式旋片真空泵 爱德华真空泵Edwa***真空泵 旋片泵 油回转高真空泵 爱德华 E2M80 油封式旋片真空泵 Edwa***真空泵

化学气相沉淀化学气相沉淀 (CVD) 系统具有 多种配置用于沉积多种类型的薄膜。我们的产品解决方案您可能需要使用涡轮分子泵(TMP)以便在您的制程工具上实现超高真空。制程 还以不同的压力和流量状态运行，其中的许多状态 都使用含氟的干燥清洁制程。所有这些可变因素意味着您 需要咨询我们的应用工程师之一来选择适当的泵 和气体减排系统以便大程度地延长我们产品的维修间隔并 延长您制程的正常运行时间。

干泵选择

CVD 制程通常需要通过选择适当的 干泵产品来克服四个特定挑战。这些挑战是：

粉末

许多制程会产生 大量粉末副产品。为总泄漏，则〔10)S*PL=Sw*P,司t则实际抽速为gJ=J'*一下了r,(5。需要将真空泵设计成 能够处理这些粉末而不被卡住。在某些情况下，粉末实际上可能 很粘或需要高温运行才能确保粉末中夹带的其他 副产品不在泵内部冷凝并卡住泵机构。 对于几乎所有产生粉末的制程，您将不得不使用 采用高扭矩电机的泵，以确保泵在应力下保持 旋转。

冷凝

半导体 制程的某些副产品含有气体，当气体分压 增加或与冷表面接触时，这些气体会从气 相变为固相。在泵送这些副产品时， 您将需要非常热的泵，是从入口到出口 具有尽可能一致的温度分布的泵。

腐蚀

有些制程 需要泵送卤化物。这些泵结构紧凑，使用时非常安静，具备***的润滑回路，可靠性高，配有各种附件，可以满足特定的应用需求。尤其是需要含氟的清洁制程来 保持舱室的清洁性，但被激的氟自由基 可能会侵蚀泵的内表面。如果制程主要使用 可能对泵造成腐蚀的***，您需要确保可以 将泵温度设置为一个较低值以降低腐蚀风险。我们的泵设计 具有可选的温度设和高旋转 速度以降低腐蚀风险并降低泵中不可避免 发生的总体材料损失速率。对于某些 CVD 制程，需要在温度设上 达到平衡，以确保避免任何冷凝问题， 同时不使腐蚀速度过高。

爱德华真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。

Edward真空泵油概述：  提供一系列新型油：Ultragrade? 15、19、20 和 70，均采用制程生产。分别为转子和定子所形成的外层完整内压缩腔和外层完整外压缩腔的容积。大多数制造商都采用溶剂精炼制程，而这些油则采用独特的湿法处理制程生产。这一制程不会产生氮、硫、氧和芳香烃类，因此可得到无任何杂质的清洁基料。

加入添加剂后，Ultragrade? 油可改善真空性能、热稳定性和氧化稳定性，不易生锈。通过延长使用寿命、提高正常运行时间、增加产量，使其拥有了可靠的高性能，同时又具有占地面积小，拥有成本低等优点。油中的氧化剂可让泵承受较高工作温度而不会造成油的退化，从而延长换油时间间隔。特性与优势： 加入添加剂后，Ultragrade? 油可改善真空性能、热稳定性和氧化稳定性，不易生锈。

油中的氧化剂可让泵承受较高工作温度而不会造成油的退化，从而延长换油时间间隔。

这些油所具备的以上特性使其适用于多种应用。

真空泵泵体振动大的原因有哪些?

水环变化：若水环内径变大(供水不足所致)，则叶片顶端将与水环内壁发生碰撞，产生振动。IDX系列干泵抽速1000-1300m3／h，极限真空10-2mbar三、机械泵（油封旋片泵）EDWA***推出世界台双模式RV系列真空泵。若水环内径变小(供水过量所致)，其对叶轮的扰流及阻力损失增加，引发振动，同时增加泵的功耗。上海真空泵工作中，一定要保证合适的工作水供水量，若进水管发生结垢及堵塞现象。只凭进水压力不能准确衡量进水供应情况，一般可通过观察上海真空泵的排水量来判断水环的工作情况。