爱德华真空泵供货商真空系统管路铺设「明胜机电」

EM 系列泵是结实耐用的机械油封泵，抽速为 0.7 到 275 m3/hr（30 到 206 CFM）。这些泵结构紧凑，使用时非常安静，具备***的润滑回路，可靠性高，配有各种附件，可以满足特定的应用需求。电子束平版印刷解决方案电子束平版印刷在硅晶片的图案形成中具有重要作用。 Edwa*** E2M80 油封式旋片真空泵 爱德华真空泵Edwa***真空泵 旋片泵 油回转高真空泵 爱德华 E2M80 油封式旋片真空泵 Edwa***真空泵

化学气相沉淀化学气相沉淀 (CVD) 系统具有 多种配置用于沉积多种类型的薄膜。制程 还以不同的压力和流量状态运行，其中的许多状态 都使用含氟的干燥清洁制程。所有这些可变因素意味着您 需要咨询我们的应用工程师之一来选择适当的泵 和气体减排系统以便大程度地延长我们产品的维修间隔并 延长您制程的正常运行时间。双位气镇与回油附件和油雾过滤器结合使用，可持续抽排而不减少润滑。

干泵选择

CVD 制程通常需要通过选择适当的 干泵产品来克服四个特定挑战。这些挑战是：

粉末

许多制程会产生 大量粉末副产品。需要将真空泵设计成 能够处理这些粉末而不被卡住。在某些情况下，粉末实际上可能 很粘或需要高温运行才能确保粉末中夹带的其他 副产品不在泵内部冷凝并卡住泵机构。3极限压力涡旋式无油真空泵的极限压力是指不进入气体长期运转，在测试罩内所能达到的稳定时的低压力，用P。 对于几乎所有产生粉末的制程，您将不得不使用 采用高扭矩电机的泵，以确保泵在应力下保持 旋转。

冷凝

半导体 制程的某些副产品含有气体，当气体分压 增加或与冷表面接触时，这些气体会从气 相变为固相。在泵送这些副产品时， 您将需要非常热的泵，是从入口到出口 具有尽可能一致的温度分布的泵。

腐蚀

有些制程 需要泵送卤化物。尤其是需要含氟的清洁制程来 保持舱室的清洁性，但被激的氟自由基 可能会侵蚀泵的内表面。如果制程主要使用 可能对泵造成腐蚀的***，您需要确保可以 将泵温度设置为一个较低值以降低腐蚀风险。我们的泵设计 具有可选的温度设和高旋转 速度以降低腐蚀风险并降低泵中不可避免 发生的总体材料损失速率。对于某些CVD制程，需要在温度设定点上达到平衡，以确保避免任何冷凝问题，同时不使腐蚀速度过高。对于某些 CVD 制程，需要在温度设上 达到平衡，以确保避免任何冷凝问题， 同时不使腐蚀速度过高。

在真空泵机组定期一切换过程中，多次发生过类似异常。在备用真空泵机组启动、原运行泵停运后。凝汽器真空便开始缓慢下降，约15~30min后可下降5~6kPa，在此过程中，发现气水分离器内处于负压状态，这是一种异常现象。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。好凯德真空科技分析认为，真空泵机组工作不正常，导致喷射器抽吸力降低，使得凝汽器真空下滑。

真空泵是一种较为精密的机械设备，用户在使用过程中，真空泵抽真空难免出现抽气量不足或者真空度不高的现象，引起这些现象的原因是很多的。

真空泵真空度降低该怎么办？

真空泵真空度降低的故障原因：管道密封不严，有漏气的地方;密封填料磨损;叶轮与端盖的间隙过大;水环温度过高(一般不应超过40℃)。

真空泵真空度降低的排除方法：拧紧法兰螺钉或更换衬套;更换填料;调整间隙(一般应为0.15～0.2mm);增加水量并降低进水温度。