爱发科罗茨真空泵热管行业真空系统「多图」

组成

YM-RL系列罗茨泵机组是多级罗茨式干泵、罗茨泵通过安装支架、接管配上控制箱、消音等组合而成，用于生产、研究设备的真空排气。

特长

● 无油、干燥、清洁

● 在低温领域的均热化

● 大抽速，可以缩短排气时间

● 优良的耐腐蚀性

● 低噪音、低震动

                                                     用途

                                                                   ◆ 冷冻干燥、镀膜、真空钎焊炉、真空烧结炉、

                                                                   ◆ 单晶炉、多晶炉、等离子刻蚀、气体回收系统等。

真空泵的选择及抽速计算

(1)计算真空泵的有效抽速S (L/s)。

根据真空系统要求的工作压力pg、真空系统的总气体量Q，计算泵的有效抽速

S=Q/pg

式中，Q为真空系统的总气体量，Pa. L/s,包括真空系统工作过程中产生的气体量、真空系统及真空元件的放气量和真空系统的总漏气量。

通常将按此式计算出的有效抽速S增大20%~30%或更大作为主泵的名义抽速。

(2)确定真空泵的抽速。

根据有效抽速S以及泵与真空室之间的连接管道的流导U确定主泵的抽速Sp。由流导串联公式有

1/S=1/Sp +1/U

(3)根据被抽气体种类、成分、温度以及气体含灰尘杂质情况选真空泵 。

(4)根据真空室对油污染要求的不同,来选择有油、无油、半无油、干式、湿式真空泵。干式真空泵适合于要求绝dui无油或工作液、或对工作液储存和处理费用比较关切等场合。

(5)根据***及日常维护运转的经济指标来选择。

03、前级泵的配置及抽速确定

主真空泵选定之后,如何配置前级泵，需遵守的原则是：

① 求前级泵造成主真空泵工作所需的预真空条件;

② 抽走主真空泵产生的z大气体量;

③ 必须满足主真空泵进气口能工作的z大压力时所需的预抽时间要求。

ULVAC机工株式会社作为专门制造销售小型真空泵及小型真空仪器、装置的厂家，产品应用于各行业的高、中、低真空领域。特别是真空仪器、装置上配用的小型真空泵，产品品种、品质均处于世界地位，满足了各小型真空泵的***使用厂家的需求。

爱发科真空泵

株式会社ULVAC作为追求真空极限（Ultimate in Vacuum)的真空技术先驱，以电子技术及信息通信技术为首，在能源、环保、运输、食品、化工、生物工程等广阔的领域，以生产设备为中心、提供***的真空技术产品。特别是在半导体制造设备及平面显示器等制造设备方面，以真空技术为基础，进行了各种技术开发，已经和正在提供作为制造工艺重要部分的***设备。新泵浦初次使用500小时后更换泵油，以后每1000-1500工作小时更换一次。

影响真空泵效率的因素有哪些

对真空泵系统密封请求的研讨：

真空泵处于极限状态时,第-级排出的水很少,有时乃至没有。因而,第-级泵有许多水排出,能够认为是系统有走漏。通常的漏气原因有:垫片没装、装错或损坏,螺栓未拧紧,法兰面损坏,焊缝有沙sha眼,接头(压力表、真空表等)未装好。

对喷嘴请求的研讨：

喷嘴是影响真空泵功用的主要部件,存在的疑问有:喷嘴装错、装歪、阻塞、损坏、腐蚀和走漏,不论采纳何种预防措施,喷嘴的阻塞在所难免。一方面因为装置蒸汽管道时,管道中残存的铁屑及焊渣会阻塞喷嘴;另一方面,真空泵系统停用时,蒸汽管道易生锈,锈斑在使用时坠落阻塞喷嘴。爱发科ULVAC主要生产各种油旋片泵、罗茨泵、机组（含规格品）、排气小车。