惠州罗茨真空泵进口真空泵配件 惠州明胜机电设备

当转子旋转时，抽空腔的进气部分容积扩张，将气体通过吸入口吸入。气体经过污物防护罩，打开的防返油阀（7/54）进入泵腔。当转子进一步旋转，叶片从吸入口将泵腔部分分开。泵抽除含氧过高、对金属有腐蚀作用的、与真空泵油起化学反应的气体或有机容剂等，请务必在被抽系统与真空泵之间串联一相应的过滤器或干燥剂，以确保真空泵正常使用。这部分泵腔体积减少，气体被压缩。气体在略高于大气压力时经过排气阀（6/20）从泵腔中排出。

油被注入泵腔起密封，润滑和冷却泵的作用。

压缩气体夹带的油在油箱（6/27）内由于折转而被初步捕集。然后在出口过滤器元件（6/29）中被彻底过滤。于是，排气中油含量下降至低于可见程度（捕集率大于99%）。

在出口过滤器中捕集的油经过回油管（6/11）返回到进气室。为了防止大气压下的气体从油槽流入进口，回油管由一个浮球阀控制。

油循环是由油箱（压力高于或等于大气压）和泵的进气口（压力低于大气压）之间存在的压差维持的。一部分油取自油槽（6/27），经过油过滤器（6/25）流到转子的轴承支撑点和泵腔。滑片式真空泵是所有低真空中使用***广、生产品种***全的泵，常用于真空冶炼、真空干燥、真空处理、电子器件排气等，也可以作为高真空的前级泵，极限真空1。注入泵内油的另一部分不会通过油过滤器。所以，如果油过滤器偶然完全堵塞，通过具有足够油量的第二线路确保润滑，从而保证泵良好机械运转。

然而在这种情况下，泵达不到规定的极限压力。一般来说这表明油脏了或油过滤器被堵塞了。

在电机轴上旋转的风扇产生冷却所必须的空气流，来通过冷却盘管中的润滑。

根据需求，可订购带气镇装置（6/14）的泵（USA型号的泵气镇阀为标准配置）。

LEYBOLD OPTICS CCS 系列（50 至 160 对/8 小时）视客户要求而定，可使用 LEYBOLD OPTICS CCS 系列镀膜机生产一或若干层（减反射层、防晒或镜面层以及滤光片）。其出色的生产能力得益于短抽真空时间以及准确的工序监控，这些尤为该平台的亮点。布勒莱宝光学设备（北京）有限公司，其前身是德国莱宝光学有限公司在北京树立的外商独资子公司，依托于这个具有160多年前史的***出名高真空镀膜设备品牌。各种类型的 LEYBOLD OPTICS CCS 镀膜机证明了小尺寸和高生产力并非互为独占的。LEYBOLD OPTTIC CCS 系列包括生产解决方案，适用于中等产量的标准和离子辅助镀膜工艺。模块化设计，实现可持续发展的解决方案

电子枪容量、低温制冷系统的实施或腔室内疏水性镀膜功能相关的升级选件可在日后轻松添加至 LEYBOLD OPTICS CCS 的基本配置。因此，客户可随着其业务增长而选择扩建其系统。适用于广泛应用的灵活系统

LEYBOLD OPTICS CCS 系列提供适用于每种需求选配组件阵列。有两种不同的镜片支架，自动翻转镜片支架和适用于不同镜片直径的多种标准圆片，使其适用于广泛的应用。

经过验证的设计，可进行轻松维护所有 LEYBOLD OPTICS CCS 组件可轻松触及，因此维护简单。作为所有布勒莱宝光学设备的标准，每台设备都可通过远程软件工具访问，轻松地实现离站分析和检修活动。在电机轴上旋转的风扇产生冷却所必须的空气流，来通过冷却盘管中的润滑。无数参数的大量数据录入助力客户始终获得镀膜机状况的新情况，并在需要时可共享信息。

LEYBOLD OPTICS CCS 平台的圆柱形镀膜腔室可促进轻松维护和保护屏障的快速拆卸清洗，这又可提供增加设备运行时间的优势。

近年来, 受半导体制造、液晶注入、太阳能电池生产、电子器件等新兴行业和薄膜制备、化工、制药等传统行业的带动, 多级罗茨干泵作为核心装备之一, 其研制和生产越来越受到重视。多级罗茨干泵满足了IC 装备制造业的工作温度高、长期运转稳定、噪声低、维护简单、清洁无油等众多要求, 是很有发展前景的一种干式真空泵。33×10-1（Pa）下，其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%。但是, 除了加工及装配要求精度高、加工难度大、一次性投入昂贵等制约因素外, 其设计理论和制造工艺亟待提高, 尤其包括罗茨型线的改善、加工成本的降低、间隙的确定、泄漏量的计算、泵内的热力学分析、转子表面涂层、噪声振动等难点问题, 制约了多级罗茨干泵研制和生产。