爱德华真空泵中国代理诚信企业推荐 明胜机电设备

涡旋真空泵的主要性能表征参数

5.1.1间隙大小

   间隙包括轴向间隙和径向间隙。由于轴向间隙只是由设计精度、加工精度和

装配精度进行控制的，也比较容易控制，在此不做过多的介绍。而径向间隙可以

由式((2.11)计算得到，即

                         e二，*R,-2* a * R.-R                  (5.1)

5.1.2抽气速率

   理论抽气速率Sth是由泵的几何尺寸、转速和是否是双侧涡旋共同决定的一

个反映抽气性能的参数，也叫几何抽速。假设转速为n(转/秒)，并且该祸旋泵

为双侧涡旋，那么Sth可表达为下式:

                     S1,=2仇、+Vol卜(5.2)

   其中VII, Vo;分别为转子和定子所形成的外层完整内压缩腔和外层完整外压

缩腔的容积。、

   实际抽速是指泵实际排出气的速率。由于涡旋无油泵存在着轴向和径向泄

漏，其实际抽速S要低于理论抽速Sth，设P:为吸入口压力，P:为排气口压力，

Q。为总泄漏，则〔10)

                                 S*PL=Sw*P,司t

则实际抽速为

       g

J=J'*一下了

         r,

(5.3)

5.1.3极限压力

   涡旋式无油真空泵的极限压力是指不进入气体长期运转，在测试罩内所能达

到的稳定时的低压力，用P。表示。此时泵的实际抽速S=O，令式((5.3)中的实际

抽速S=O，即可得极限压力〔10)

(5.4)

Edward爱德华EH1200罗茨泵维修*** 漏气，有点卡死

EH1200是德国Edward爱德华EH系列罗茨泵，这款泵是比较大的，罗茨泵不能单独使用，一般是可以搭配螺杆泵或者旋片泵使用。其他进口螺杆真空泵维修型号：EH250，EH500，EH1200, EH2600，EH4200

提供进口罗茨泵维修***，维修品牌包括：莱宝、爱德华、Aerzen, Kaesser, Dresser, Hibon, Robuschi, RKR等进口品牌；罗茨泵维修提供莱宝WSU系列、WAU系列和爱德华EH系列等；

爱德华罗茨泵维修因为结构不一样，所以它和油封封E2M80的维修方法有点不一样，出现的故障也不一样。像罗茨泵一般会出现的问题是

1.发热、

2.卡死、

3.抽气量不足、

4.性能不稳定、

5.噪音大等故障；

温馨提示：如果爱德华EH1200罗茨泵漏气，有点卡死，记得致电***的罗茨真空泵维修厂家，不可擅自处理，以免引起其他不良的故障反应。

半导体加工我们继续革新技术解决方案，这些解决方案将会提升制程正常运转时间、产量、吞吐量与安全认证水平，同时通过减轻不利于环境的排放、延长产品使用寿命并降低持续服务成本，努力协调平衡往往相互冲突的更低拥有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及***每一家主要半导体工厂都采用了我们的系统，因为它们能够满足成熟制程与发展中制程的具体要求。提供干式真空泵、涡轮分子泵与使用点减排系统等各种系统，用来优化从轻负荷制程到超重负荷制程的各项应用的性能表现。 平版印刷平版印刷（即晶圆的图案形成）是半导体 制程中的一个关键步骤。虽然传统甚至浸润式平版印刷 一般不需要真空环境，但远紫外 (EUV) 平版印刷和电子束平版印刷却需要真空 泵。Edward可以让您有效应对这两种应用。如德国BUSCH普旭、德国Becker贝克、德国Rietschle伟力/里其乐、德国天津Leybold莱宝、法国ALCATEL阿尔卡特、英国Edward爱德华、日本ULVAC爱发科，日本Orion好利旺等品牌。

EUV 平版印刷泵送解决方案

多重图案形成技术有其存在的价值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因为轻型 EUV 系统 提供极短的波长。要让您的系统具有 性能，真空环境是关键。真空系统的 清洁性尤其重要，它有助于延长维修间隔。我们 与 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作开发了 精密真空系统，可为您进行的大型***提供 可靠性。4：珠三角范围客户我司承诺24小时内派出技术人员到达客户公司及时处理真空设备故障，东莞范围客户8小时到达。

电子束平版印刷解决方案

电子束平版印刷在硅晶片的图案形成中 具有重要作用。低振动的清洁真空对于确保系统的精密性 和长正常运行时间至关重要。

我们的产品解决方案

您可能需要使用涡轮分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上实现超高真空。我们的 STP 系列 TMP 采用 完全磁悬浮转子以降低舱室污染风险并延长 维修间隔。目前开发的产品通过将控制器集成到 泵本身中来降低总成本和占地面积，不再需要 外部控制器和控制器与泵之间的沉重控制 电缆。7lbh-1重量105kg/231lb电机保护额定值IP44或IP54电机功率50Hz2。

真空泵泵体振动大的原因有哪些?

水环变化：若水环内径变大(供水不足所致)，则叶片顶端将与水环内壁发生碰撞，产生振动。若水环内径变小(供水过量所致)，其对叶轮的扰流及阻力损失增加，引发振动，同时增加泵的功耗。上海真空泵工作中，一定要保证合适的工作水供水量，若进水管发生结垢及堵塞现象。只凭进水压力不能准确衡量进水供应情况，一般可通过观察上海真空泵的排水量来判断水环的工作情况。供应英国爱德华19号真空泵油，质量保证规格4L/208L现货，爱德华真空泵油用于E2M175/275/80/40,油式旋片泵，看真空泵型号选用油号对用，因为真空泵油粘度不一样。