罗茨真空泵生产商真空系统设计招标「明胜机电」

当转子旋转时，抽空腔的进气部分容积扩张，将气体通过吸入口吸入。气体经过污物防护罩，打开的防返油阀（7/54）进入泵腔。若环境温度低干5度，停机后应将真空泵内冷却水放净，以防真空泵体冻裂。当转子进一步旋转，叶片从吸入口将泵腔部分分开。这部分泵腔体积减少，气体被压缩。气体在略高于大气压力时经过排气阀（6/20）从泵腔中排出。

油被注入泵腔起密封，润滑和冷却泵的作用。

压缩气体夹带的油在油箱（6/27）内由于折转而被初步捕集。然后在出口过滤器元件（6/29）中被彻底过滤。于是，排气中油含量下降至低于可见程度（捕集率大于99%）。

在出口过滤器中捕集的油经过回油管（6/11）返回到进气室。为了防止大气压下的气体从油槽流入进口，回油管由一个浮球阀控制。

油循环是由油箱（压力高于或等于大气压）和泵的进气口（压力低于大气压）之间存在的压差维持的。一部分油取自油槽（6/27），经过油过滤器（6/25）流到转子的轴承支撑点和泵腔。两个旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分，当转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的空间A的容积是逐渐增大的，正处于吸气过程。注入泵内油的另一部分不会通过油过滤器。所以，如果油过滤器偶然完全堵塞，通过具有足够油量的第二线路确保润滑，从而保证泵良好机械运转。

然而在这种情况下，泵达不到规定的极限压力。一般来说这表明油脏了或油过滤器被堵塞了。

在电机轴上旋转的风扇产生冷却所必须的空气流，来通过冷却盘管中的润滑。

根据需求，可订购带气镇装置（6/14）的泵（USA型号的泵气镇阀为标准配置）。

LEYBOLD OPTICS CCS 系列（50 至 160 对/8 小时）视客户要求而定，可使用 LEYBOLD OPTICS CCS 系列镀膜机生产一或若干层（减反射层、防晒或镜面层以及滤光片）。其出色的生产能力得益于短抽真空时间以及准确的工序监控，这些尤为该平台的亮点。WAU/WSU系列可以在大气下启动，既可简化系统的控制程序，又提高了从大气压到10mbar范围内机组的抽速。各种类型的 LEYBOLD OPTICS CCS 镀膜机证明了小尺寸和高生产力并非互为独占的。LEYBOLD OPTTIC CCS 系列包括生产解决方案，适用于中等产量的标准和离子辅助镀膜工艺。模块化设计，实现可持续发展的解决方案

电子枪容量、低温制冷系统的实施或腔室内疏水性镀膜功能相关的升级选件可在日后轻松添加至 LEYBOLD OPTICS CCS 的基本配置。因此，客户可随着其业务增长而选择扩建其系统。适用于广泛应用的灵活系统

LEYBOLD OPTICS CCS 系列提供适用于每种需求选配组件阵列。有两种不同的镜片支架，自动翻转镜片支架和适用于不同镜片直径的多种标准圆片，使其适用于广泛的应用。

经过验证的设计，可进行轻松维护所有 LEYBOLD OPTICS CCS 组件可轻松触及，因此维护简单。作为所有布勒莱宝光学设备的标准，每台设备都可通过远程软件工具访问，轻松地实现离站分析和检修活动。真空泵运行时，随着泵腔内转子的旋转，转子上两个纵向槽中的滑片或偏心轮上的滑阀环，紧贴着定子的内壁滑动，转子、滑片与定子导热油泵内壁必然依靠油品的润滑性避免摩擦副材料的擦伤，利用油品隔离大气，并带走因摩擦产生的热量。无数参数的大量数据录入助力客户始终获得镀膜机状况的新情况，并在需要时可共享信息。

LEYBOLD OPTICS CCS 平台的圆柱形镀膜腔室可促进轻松维护和保护屏障的快速拆卸清洗，这又可提供增加设备运行时间的优势。

多级罗茨干泵在混合压缩过程中, 压缩气体产生热量。随着工作周期的重复, 产生的热量积聚起来, 并逐渐传递给转子和泵体内壁, 造成转子和泵体内壁的温度升高。事后维修，俗语坏了就修，故障发生后根据故障的性质及范围决定维修内容，这类维修造成损失较大，它打乱了生产计划。由于温度的升高, 转子和泵腔将会产生一定的热变形, 会影响间隙通道的尺寸。而间隙是干泵设计重要的参数之一, 由于存在气体逆向返流现象, 间隙的选取会严重影响干泵的极限真空度、压缩比、容积效率、发热卡死等指标。

对泵体内的传热过程及转子、泵腔的温度升高和受热变形进行分析, 一方面为泄漏量的准确计算提供依据, 另一方面, 也是涉及间隙尺寸、考察发热后转子与泵体内壁是否刮碰的一个重要依据。