爱德华真空泵厂家食品包装真空系统「多图」

概述

EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础，仍是受欢迎的泵，可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。

机械增压泵在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度可靠。

应用

半导体制程、真空蒸馏、真空包装、钢脱气、薄膜覆层、真空冶金、低密度风洞、空间模拟、真空浸渍、油干燥和脱气、制药冷冻干燥、CO2 激光

功能和优势

适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。

它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。

EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供：

安静的无振动运行。

牢靠且防腐蚀。

先进的轴封技术，处理舱中不会出现油污染

防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。

经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到低。

轴封的设计经过优化，可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。

动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。

订购信息

Edwards真空泵 EH4200 罗茨真空泵 爱德华罗茨泵 机械增压泵

EH4200 Industrial

●EH4200IND 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW A30975946

●EH4200IND 200 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW NRC215000

●EH4200IND 208-230 V or 460 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp A30976982

●EH4200IND 200 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp NRB988000

EH4200 PFPE*

●EH4200FX 220-240 V or 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW On application

●EH4200FX 208-230 V or 460 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp On application

EH4200 Chemical**

●EH4200C 230 V or 460 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp A30956982

●EH4200T3 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW A30941935

●EH4200T160 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW A30979900

EM 系列的油封旋转泵（因其限真空、高抽速、运行噪音小以及能够处理蒸汽而享有盛誉）已成为工业和实验室应用的行业标准。

E2M28 泵是双级、直联式滑片泵。该泵是油封的，旨在于实验室和工业环境中都能进行可靠的长期运行。该泵是自由放置的装置，其传动由一个单相或三相（四极）电机通过活动联结器提供。

应用分析仪器 - LCMS汽车射束线和高能物理超高速离心机覆层低温学脱气/硫化 - 油，环氧树脂蒸馏/萃取/过滤冷冻干燥熔炉气瓶充气/排空凝胶体干燥手套式操作箱，干燥炉实验室工作台上真空激光机、   气体回收和再循环氦检漏仪负载锁和传输腔冷冻制造旋转离心蒸发器溶剂回收表面科学仪器涡轮分子前级泵 技术数据

　E2M18E2M28E1M18排量 (50Hz)20.5 m3h-1/32.2 m3h-120.5 m3h-1/　12.1 ft3min-1 19 ft3min-112.1 ft3min-1排量 (60Hz)25.0 m3h-1/38.9 m3h-125.0 m3h-1/　14.7 ft3min-116.2 ft3min-114.7 ft3min-1速度 (Pneurop 6602) 50 Hz17.0 m3h-1/27.5 m3h-117.0 m3h-1/　10 ft3min-116.2 ft3min-110 ft3min-1速度 (Pneurop 6602) 60Hz20.4 m3h-1/33.0 m3h-120.4 m3h-1/　12.1 ft3min-1 19.5 ft3min-112.1 ft3min-1极限真空（总压力）　　　  

进口爱德华真空泵油过滤器A22304032

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泵油，爱德华真空泵密封件/维修包等……，型号齐全，价格实惠。

爱德华过滤器主要作用：真空泵油过滤器是很多进口真空泵品牌配置的一种油过滤装置，主要过滤颗

粒杂质粉尘，保持真空泵油质量，提高真空泵使用寿命。

Edward爱德华半导体、平板显示器、LED 和太阳能电池制造集成解决方案提供商，是工业、制

药、化工、科研、加工、玻璃镀膜、食品包装行业以及广泛的研发应用的真空技术。 这些泵结

构紧凑，使用时非常安静，具备先进的润滑回路，可靠性高，配有各种附件，可以满足特定的应用需

求。

主要从事真空行业，销售真空泵过滤器，真空泵叶片/滑片/石墨碳片，维修包/密封套

件，真空泵维修耗材。选择比其尔的优势；拥有10年以上各类进口真空泵技术专业，真空泵系统订

制，真空泵维修/保养；如德国BUSCH普旭、德国Becker贝克、德国Rietschle伟力/里其乐、德国天

津Leybold莱宝、法国ALCATEL阿尔卡特、英国Edward爱德华、日本ULVAC爱发科，日本Orion好

利旺等品牌；

化学气相沉淀化学气相沉淀 (CVD) 系统具有 多种配置用于沉积多种类型的薄膜。制程 还以不同的压力和流量状态运行，其中的许多状态 都使用含氟的干燥清洁制程。所有这些可变因素意味着您 需要咨询我们的应用工程师之一来选择适当的泵 和气体减排系统以便大程度地延长我们产品的维修间隔并 延长您制程的正常运行时间。真空泵轴向干摩擦力与旋转速度有关，由于轴向干摩擦的作用使基频影响相对下降，同时有高频成分出现，所以轴向干摩擦具有阻尼的特性。

干泵选择

CVD 制程通常需要通过选择适当的 干泵产品来克服四个特定挑战。这些挑战是：

粉末

许多制程会产生 大量粉末副产品。需要将真空泵设计成 能够处理这些粉末而不被卡住。在某些情况下，粉末实际上可能 很粘或需要高温运行才能确保粉末中夹带的其他 副产品不在泵内部冷凝并卡住泵机构。 对于几乎所有产生粉末的制程，您将不得不使用 采用高扭矩电机的泵，以确保泵在应力下保持 旋转。五、罗兹泵EDWARDS在全球早推出高抽速的罗茨泵，其抽气率从240m3／h到4500m3／h，极限真空10-3mbar。

冷凝

半导体 制程的某些副产品含有气体，当气体分压 增加或与冷表面接触时，这些气体会从气 相变为固相。在泵送这些副产品时， 您将需要非常热的泵，是从入口到出口 具有尽可能一致的温度分布的泵。

腐蚀

有些制程 需要泵送卤化物。尤其是需要含氟的清洁制程来 保持舱室的清洁性，但被激的氟自由基 可能会侵蚀泵的内表面。如果制程主要使用 可能对泵造成腐蚀的化学品，您需要确保可以 将泵温度设置为一个较低值以降低腐蚀风险。我们的泵设计 具有可选的温度设和高旋转 速度以降低腐蚀风险并降低泵中不可避免 发生的总体材料损失速率。尤其是需要含氟的清洁制程来保持舱室的清洁性，但被激的氟自由基可能会侵蚀泵的内表面。对于某些 CVD 制程，需要在温度设上 达到平衡，以确保避免任何冷凝问题， 同时不使腐蚀速度过高。