爱德华真空泵维修电池烤箱真空系统「明胜机电」

爱德华真空泵性格技术参数

一、XD系列干泵（涡旋泵）

真空腔内无润滑油脂从而确保无污染；使用寿命更长，维护更少；强大的水蒸汽处理能力；XD系列涡旋泵，抽速4.8-35m3／h，极限真空10-2mbar。

二、IDX系列干泵（爪泵）

爱德华干泵是市场上大型干泵的，同时也早将干泵应用恶劣环境。IDX系列干泵抽速1000-1300m3／h，极限真空10-2mbar

三、机械泵（油封旋片泵）

EDWA***推出世界台双模式RV系列真空泵。其的双模式方式使该泵性能，真空高，泵体紧凑，噪音低。这一制程不会产生氮、硫、氧和芳香烃类，因此可得到无任何杂质的清洁基料。 RV系列泵的真空范围从大气压到约0.002mbar。抽气率3-12 m3／h； EM系列真空泵具有结构紧凑、噪音小、低功耗、低工作温度的特点。抽气率0.6-275m3／h，极限真空0.002mbar

四、分子泵

爱德华UL20真空泵油更换方法：

1.将真空泵泵从真空系统拆下后，用干净的容器接在放油口处。旋下油塞和放油塞，放出污油。当污油放出后，电机接电、断续启动电机 4-6次 ，使各真空腔内部污油全部排出。Edward真空泵油概述：提供一系列新型油：Ultragrade?15、19、20和70，均采用制程生产。然后从进气口加入干净的真空泵油约200-300ml 。断续启动电动机2-3次，再次清洗各真空室。经过2-3次清洗后，排除清洗用油。旋上排油口处堵嘴。从注油口处加入干净的真空泵油到视窗口的2/3位置（中心偏上），旋紧注油塞使其不漏气即可。

公司真空泵油有：

英国爱德华BOCEDWARD真空泵油 UL15   UL19  UL70  UL20

规格 1L   4L   20L

德国莱宝LEYBOLD真空泵油  N62  GS77  GS32  N62H  LVO100 LVO130

规格1L  5L  20L

德国普旭BUSCH真空泵油  VM100  300SD  VM32  VM68

德国里其乐/伟力RIETSCHLE真空泵油?MULTI-LUBE100  MULTI-LUBE46

合成油 SUPER-LUBE100

爱发科ULVAC真空泵油  ULVoilR-7   ULVoilR-4    ***R-100

法国阿尔卡特ALCATEL真空泵油   A120   A119   A200

贝克BECKER真空泵油  F O-100  LUBE-M100

真空泵配件有：

油雾分离器/油气分离器/排气过滤器，叶片，

碳精片，进口碳精片，油过滤器/油隔，

空气过滤器/空气滤芯/风隔，空气总成，

进口真空泵油，散热风扇，风扇叶，

风扇罩，油管，油封，轴承，自润轴承，

轴承套，风格/进气滤芯，排气阀，排气阀片，

逆止阀，逆止阀片，气镇阀，视油镜，密封套件，

连轴器，连轴器垫，连轴器防震胶，真空表，压力表，调节阀

化学气相沉淀化学气相沉淀 (CVD) 系统具有 多种配置用于沉积多种类型的薄膜。5Torr的压力范围下、需要超过3000m3h1/1776ft3min-1的高抽速的应用场合。制程 还以不同的压力和流量状态运行，其中的许多状态 都使用含氟的干燥清洁制程。所有这些可变因素意味着您 需要咨询我们的应用工程师之一来选择适当的泵 和气体减排系统以便大程度地延长我们产品的维修间隔并 延长您制程的正常运行时间。

干泵选择

CVD 制程通常需要通过选择适当的 干泵产品来克服四个特定挑战。这些挑战是：

粉末

许多制程会产生 大量粉末副产品。需要将真空泵设计成 能够处理这些粉末而不被卡住。英国爱德华E2M80真空泵维修要注意哪些问题点：爱德华真空泵属于机械旋片式真空泵，在使用一定的时间后，会出现机械老化，配件磨损或者损坏等，这就需要我们做维修，更换相应的配件，在维修当中，我们要注意哪些问题点。在某些情况下，粉末实际上可能 很粘或需要高温运行才能确保粉末中夹带的其他 副产品不在泵内部冷凝并卡住泵机构。 对于几乎所有产生粉末的制程，您将不得不使用 采用高扭矩电机的泵，以确保泵在应力下保持 旋转。

冷凝

半导体 制程的某些副产品含有气体，当气体分压 增加或与冷表面接触时，这些气体会从气 相变为固相。在泵送这些副产品时， 您将需要非常热的泵，是从入口到出口 具有尽可能一致的温度分布的泵。

腐蚀

有些制程 需要泵送卤化物。尤其是需要含氟的清洁制程来 保持舱室的清洁性，但被激的氟自由基 可能会侵蚀泵的内表面。如果制程主要使用 可能对泵造成腐蚀的***，您需要确保可以 将泵温度设置为一个较低值以降低腐蚀风险。我们的泵设计具有可选的温度设定点和高旋转速度以降低腐蚀风险并降低泵中不可避免发生的总体材料损失速率。我们的泵设计 具有可选的温度设和高旋转 速度以降低腐蚀风险并降低泵中不可避免 发生的总体材料损失速率。对于某些 CVD 制程，需要在温度设上 达到平衡，以确保避免任何冷凝问题， 同时不使腐蚀速度过高。