爱德华真空泵组维修明胜机电 惠州明胜机电设备

Drystar GV400和EH2600/EH4200泵组系列结合了经过实际应用检验的EDWARD爪式干泵和液压驱动增压泵；相对系统油封真空泵系统，它具有价格低廉、性能优良和结构紧凑等优点，是一套清洁、耐用的抽气系统。

   Drystar系统的非接触式装置减少了磨损和维护，开机时间更长，抽空时间更短。Drystar泵组、成本低，并且能够处理粉尘和水蒸汽，免除了油封真空泵系统因工艺污染而导致性能下降和需要频繁维护的***。

Edward爱德华EH1200罗茨泵维修*** 漏气，有点卡死

EH1200是德国Edward爱德华EH系列罗茨泵，这款泵是比较大的，罗茨泵不能单独使用，一般是可以搭配螺杆泵或者旋片泵使用。其他进口螺杆真空泵维修型号：EH250，EH500，EH1200, EH2600，EH4200

提供进口罗茨泵维修***，维修品牌包括：莱宝、爱德华、Aerzen, Kaesser, Dresser, Hibon, Robuschi, RKR等进口品牌；罗茨泵维修提供莱宝WSU系列、WAU系列和爱德华EH系列等；

爱德华罗茨泵维修因为结构不一样，所以它和油封封E2M80的维修方法有点不一样，出现的故障也不一样。像罗茨泵一般会出现的问题是

1.发热、

2.卡死、

3.抽气量不足、

4.性能不稳定、

5.噪音大等故障；

温馨提示：如果爱德华EH1200罗茨泵漏气，有点卡死，记得致电***的罗茨真空泵维修厂家，不可擅自处理，以免引起其他不良的故障反应。

半导体加工我们继续革新技术解决方案，这些解决方案将会提升制程正常运转时间、产量、吞吐量与安全认证水平，同时通过减轻不利于环境的排放、延长产品使用寿命并降低持续服务成本，努力协调平衡往往相互冲突的更低拥有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及***每一家主要半导体工厂都采用了我们的系统，因为它们能够满足成熟制程与发展中制程的具体要求。我们的GVDrystar泵能够处理大量粉尘和水蒸汽，在保持高可重复性、高性能和高可靠性的同时不会带来制程污染的风险。提供干式真空泵、涡轮分子泵与使用点减排系统等各种系统，用来优化从轻负荷制程到超重负荷制程的各项应用的性能表现。 平版印刷平版印刷（即晶圆的图案形成）是半导体 制程中的一个关键步骤。虽然传统甚至浸润式平版印刷 一般不需要真空环境，但远紫外 (EUV) 平版印刷和电子束平版印刷却需要真空 泵。Edward可以让您有效应对这两种应用。

EUV 平版印刷泵送解决方案

多重图案形成技术有其存在的价值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因为轻型 EUV 系统 提供极短的波长。该泵是自由放置的装置，其传动由一个单相或三相（四极）电机通过活动联结器提供。要让您的系统具有 性能，真空环境是关键。真空系统的 清洁性尤其重要，它有助于延长维修间隔。我们 与 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作开发了 精密真空系统，可为您进行的大型***提供 可靠性。

电子束平版印刷解决方案

电子束平版印刷在硅晶片的图案形成中 具有重要作用。低振动的清洁真空对于确保系统的精密性 和长正常运行时间至关重要。

我们的产品解决方案

您可能需要使用涡轮分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上实现超高真空。供应英国爱德华19号真空泵油，质量保证规格4L/208L现货，爱德华真空泵油用于E2M175/275/80/40,油式旋片泵，看真空泵型号选用油号对用，因为真空泵油粘度不一样。我们的 STP 系列 TMP 采用 完全磁悬浮转子以降低舱室污染风险并延长 维修间隔。目前开发的产品通过将控制器集成到 泵本身中来降低总成本和占地面积，不再需要 外部控制器和控制器与泵之间的沉重控制 电缆。