爱发科罗茨真空泵来电洽谈「多图」

真空设备制造商“株式会社ULVAC（爱发科）”在中国***兴建的全资公司，于2003年7月在工业园区设立，总***10,350万美元，注册资本3450万美元，占地面积七万多平方米。主要为半导体功率器件、集成电路、电力电子、LED等行业提供芯片生产及研发的相关真空设备，同时提供设备及周边产品的***服务。工厂于2011年再度扩建，从2012年年初开始，为平板显示器，太阳电池等制造行业提供***设备。3、简洁的修理功能：为使日常***作业方便简单，油量承认、油弥补、油替换的方向为同一操作方向。

     公司由日本总部提供雄厚的技术支持，既拥有与日本总部同等的技术资源，又拥有国内设备供应商在价格、交货期、***服务等方面的综合优势，受到广大客户的一致好评和厚爱。

爱发科真空技术有限公司自二零零三年在中国区成立并于二零零五年开始营业以来，始终秉承扎根本土、服务当地的理念，将日本***的技术研发优势与中国制造的本土优势充分结合，致力于为客户提供高性价比的设备和服务。公司经过八年的发展，已在中国半导体和电子器件设备制造行业牢牢占据一席之地，得到了业内用户的广泛认可和爱戴，在此深表感谢！泵在使用过程中，所抽物料里的杂质和水非常容易通过抽气进入真空泵油中，这种情况会严重影响真空泵工况甚至烧泵。

   随着世界经济中心由美国向中国转移，中国的半导体、LED、FPD、太阳电池等行业也在这样的大背景下得到持续迅猛的发展。爱发科集团始终重视中国市场，也坚信爱发科集团要取得发展，离不开在中国的各项业务。因此，集团公司对于中国工厂的发展所提供的支持是不遗余力的。随着集团公司对中国公司的***不断追加、工厂面积的持续扩展、人才的陆续引进、市场规模的逐渐提升，苏州工厂正朝着真空设备制造领域的目标不断迈进。简单的***、维修性能因为能在真空泵与其它设备的连接管道不拆除的情况下，将泵的主体部分取下，所以清洗***及油封等的更换变得非常容易。

爱发科罗茨真空泵

不同的主真空泵，其前级泵配置各异，分述如下。

(1)蒸汽流泵前级配置

类泵包括油扩散泵、油扩散喷射泵以及增扩泵等。在主泵允许的z大排气口压力下，前级泵需将主泵产生的z大气体量及时抽走，即前级泵的有效抽速必须满足：

Sq> pg .S/ pn或Qmax /pn

式中,Sq——前级泵的有效抽速，L/s，和选择高真空泵一样，先由Sq来确定前级泵的抽速，然后再根据该抽速选定泵型;

pn ——主泵前级的临界前级压力，Pa;

Qmax ——所能排出的z大气体量，Pa .L/s;

pg ——主泵允许的z高工作压力，Pa;

S——主泵工作在pg时的有效抽速，L/s。

在选择前级泵时，应该注意机械泵的抽速是在大气压力下测得的，但正常使用的泵都是在低于大气压的条件下运转，使泵的抽速下降了，因而我们必须根据抽速曲线来选择泵。若没有抽速曲线，可参考经验公式

Sp =(1.5～3) S’p

式中，Sp——实际选用的前级泵的抽速;

S’p——计算要求的前级泵抽速。

真空泵注意事项

1、真空泵的工作压力应该满足真空设备的极限真空及工作压力要求。如：某真空干燥工艺要求10mmHg（绝压）的工作压力，选用的真空泵的极限压力至少要2mmHg，能低于1mmHg。通常选择泵的极限压力要高于真空设备工作压力半个到一个数量级。

2、正确地选择罗茨真空机组的工作点。罗茨真空机组的正常工作范围为吸入压力~极限压力×5。【ULVAC爱发科VSN2401油旋片式真空泵】产品特点：1、实现了低噪音：由于采用了极限压力时降低运转声音结构，VSN1501、VSN2401的噪声能低于74dB(A)（到达极限压力时并带有油雾过滤器、在离泵1米处的测定值）。例：JZJ2B150-2.1罗茨水环真空机组的正常工作范围为：6000Pa~125Pa，该工作范围为主泵开启后的正常工作压力范围，该机组在此工作范围之内效率。

3、水环真空泵在其工作压力下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。