爱德华真空泵报价值得信赖「明胜机电」

涡旋真空泵的主要性能表征参数

5.1.1间隙大小

   间隙包括轴向间隙和径向间隙。由于轴向间隙只是由设计精度、加工精度和

装配精度进行控制的，也比较容易控制，在此不做过多的介绍。而径向间隙可以

由式((2.11)计算得到，即

                         e二，*R,-2* a * R.-R                  (5.1)

5.1.2抽气速率

   理论抽气速率Sth是由泵的几何尺寸、转速和是否是双侧涡旋共同决定的一

个反映抽气性能的参数，也叫几何抽速。假设转速为n(转/秒)，并且该祸旋泵

为双侧涡旋，那么Sth可表达为下式:

                     S1,=2仇、+Vol卜(5.2)

   其中VII, Vo;分别为转子和定子所形成的外层完整内压缩腔和外层完整外压

缩腔的容积。、

   实际抽速是指泵实际排出气的速率。由于涡旋无油泵存在着轴向和径向泄

漏，其实际抽速S要低于理论抽速Sth，设P:为吸入口压力，P:为排气口压力，

Q。为总泄漏，则〔10)

                                 S*PL=Sw*P,司t

则实际抽速为

       g

J=J'*一下了

         r,

(5.3)

5.1.3极限压力

   涡旋式无油真空泵的极限压力是指不进入气体长期运转，在测试罩内所能达

到的稳定时的低压力，用P。表示。此时泵的实际抽速S=O，令式((5.3)中的实际

抽速S=O，即可得极限压力〔10)

(5.4)

爱德华E2M80真空泵维修的（6）个流程

1.确认问题（如有需要，会在24小时内排出***技术人员赶赴现场确认爱德华真空泵故障）

2、取泵维修（在故障确认后精捷会给出具体维修周期、维修方案和可达到的效果并***取泵）                                        

3、拆开报价（为了让客户更清晰的知道维修费用，明胜把维修费用细分化、合理化            

4、确认维修（客户同意维修费用后开始维修，维修时刻现场观摩，维修后所换配件原封不动送还客户                                        

5、试机确认（确保维修过后达到真空度和稳定性能，真空度达到出厂标准）                  

6、送泵安装（在试机OK后24小时内，客户可当初验收真空泵，看试机运转效果）                     

7、定期维护（保修3个月内会不定期的回访，3个月后会有专门的***人员跟踪维护）

化学气相沉淀化学气相沉淀 (CVD) 系统具有 多种配置用于沉积多种类型的薄膜。制程 还以不同的压力和流量状态运行，其中的许多状态 都使用含氟的干燥清洁制程。2,真空度达不到要求先检查真空泵的气密性,检查是否漏气,其次打开气镇阀,让真空泵运转30分钟,抽干真空泵里面的压缩蒸汽,排除压缩蒸汽对真空泵的影响。所有这些可变因素意味着您 需要咨询我们的应用工程师之一来选择适当的泵 和气体减排系统以便大程度地延长我们产品的维修间隔并 延长您制程的正常运行时间。

干泵选择

CVD 制程通常需要通过选择适当的 干泵产品来克服四个特定挑战。这些挑战是：

粉末

许多制程会产生 大量粉末副产品。需要将真空泵设计成 能够处理这些粉末而不被卡住。主要有两个系列：STP和EXT，主要区别是EXT系列的回转轴承是陶瓷的，而STP系列的回转轴承是用磁性材料制成的。在某些情况下，粉末实际上可能 很粘或需要高温运行才能确保粉末中夹带的其他 副产品不在泵内部冷凝并卡住泵机构。 对于几乎所有产生粉末的制程，您将不得不使用 采用高扭矩电机的泵，以确保泵在应力下保持 旋转。

冷凝

半导体 制程的某些副产品含有气体，当气体分压 增加或与冷表面接触时，这些气体会从气 相变为固相。在泵送这些副产品时， 您将需要非常热的泵，是从入口到出口 具有尽可能一致的温度分布的泵。

腐蚀

有些制程 需要泵送卤化物。尤其是需要含氟的清洁制程来 保持舱室的清洁性，但被激的氟自由基 可能会侵蚀泵的内表面。如果制程主要使用 可能对泵造成腐蚀的***，您需要确保可以 将泵温度设置为一个较低值以降低腐蚀风险。4、合理地选用真空泵油,将会对泵的极限分压力、极限全压力、起动、功率消耗、泵温、泵性能的稳定性、真空泵的使用寿命都有好的帮助。我们的泵设计 具有可选的温度设和高旋转 速度以降低腐蚀风险并降低泵中不可避免 发生的总体材料损失速率。对于某些 CVD 制程，需要在温度设上 达到平衡，以确保避免任何冷凝问题， 同时不使腐蚀速度过高。