爱德华真空泵代理商欢迎来电「明胜机电」

爱德华UL20真空泵油更换方法：

1.将真空泵泵从真空系统拆下后，用干净的容器接在放油口处。旋下油塞和放油塞，放出污油。当污油放出后，电机接电、断续启动电机 4-6次 ，使各真空腔内部污油全部排出。然后从进气口加入干净的真空泵油约200-300ml 。断续启动电动机2-3次，再次清洗各真空室。经过2-3次清洗后，排除清洗用油。旋上排油口处堵嘴。我们提供便捷的维修套件，并为国际客户提供支持服务，维护简单9。从注油口处加入干净的真空泵油到视窗口的2/3位置（中心偏上），旋紧注油塞使其不漏气即可。

公司真空泵油有：

英国爱德华BOCEDWARD真空泵油 UL15   UL19  UL70  UL20

规格 1L   4L   20L

德国莱宝LEYBOLD真空泵油  N62  GS77  GS32  N62H  LVO100 LVO130

规格1L  5L  20L

德国普旭BUSCH真空泵油  VM100  300SD  VM32  VM68

德国里其乐/伟力RIETSCHLE真空泵油?MULTI-LUBE100  MULTI-LUBE46

合成油 SUPER-LUBE100

爱发科ULVAC真空泵油  ULVoilR-7   ULVoilR-4    ***R-100

法国阿尔卡特ALCATEL真空泵油   A120   A119   A200

贝克BECKER真空泵油  F O-100  LUBE-M100

真空泵配件有：

油雾分离器/油气分离器/排气过滤器，叶片，

碳精片，进口碳精片，油过滤器/油隔，

空气过滤器/空气滤芯/风隔，空气总成，

进口真空泵油，散热风扇，风扇叶，

风扇罩，油管，油封，轴承，自润轴承，

轴承套，风格/进气滤芯，排气阀，排气阀片，

逆止阀，逆止阀片，气镇阀，视油镜，密封套件，

连轴器，连轴器垫，连轴器防震胶，真空表，压力表，调节阀

EM 系列泵是结实耐用的机械油封泵，抽速为 0.7 到 275 m3/hr（30 到 206 CFM）。这些泵结构紧凑，使用时非常安静，具备***的润滑回路，可靠性高，配有各种附件，可以满足特定的应用需求。爱德华U19真空泵油减小和减少运动面之间的摩擦、磨损，延长零部件的使用寿命,同时真空泵油能迅速将油液中夹带的水分分离出来，达到所需的真空度。 Edwa*** E2M80 油封式旋片真空泵 爱德华真空泵Edwa***真空泵 旋片泵 油回转高真空泵 爱德华 E2M80 油封式旋片真空泵 Edwa***真空泵

原装进口爱德华真空泵油新品，***包邮Edwa***爱德华真空泵油，真空泵油可改善真空泵性能、耐

磨性和抗高温性好，泵油使用后不容易乳化与积炭，从而延长换油的时间间隔。品质保证，欢迎购

买。

爱德华真空泵油 / ultragrade70    包装规格：1L, 4L，16L

爱德华真空泵油 / ultragrade 20    包装规格：1L, 4L，16L

爱德华真空泵油  / ultragrade 19   包装规格：1L, 4L，16L

爱德华真空泵油  / ultragrade 15   包装规格：1L, 4L，16L

真空泵油注意事项：

1、真空泵油在密封条件下保质期可以达到3-5年

2、新泵浦初次使用500小时后更换泵油，以后每工作1000-1500小时更换一次。(注：使用环境比较恶

劣要经常观察泵油颜色）

3、检查油位镜，当泵油变成黄褐色转入黑色或变成乳白色，需要更换真空泵油。

4、合理地选用真空泵油, 将会对泵的极限分压力、极限全压力、起动、功率消耗、泵温、泵性能的稳

定性、真空泵的使用寿命都有好的帮助。

5、供应进口真空泵油，进口真空泵，原厂真空泵配件，真空泵维修***，真空系统定

做与设计。

化学气相沉淀化学气相沉淀 (CVD) 系统具有 多种配置用于沉积多种类型的薄膜。制程 还以不同的压力和流量状态运行，其中的许多状态 都使用含氟的干燥清洁制程。所有这些可变因素意味着您 需要咨询我们的应用工程师之一来选择适当的泵 和气体减排系统以便大程度地延长我们产品的维修间隔并 延长您制程的正常运行时间。4：珠三角范围客户我司承诺24小时内派出技术人员到达客户公司及时处理真空设备故障，东莞范围客户8小时到达。

干泵选择

CVD 制程通常需要通过选择适当的 干泵产品来克服四个特定挑战。这些挑战是：

粉末

许多制程会产生 大量粉末副产品。需要将真空泵设计成 能够处理这些粉末而不被卡住。在某些情况下，粉末实际上可能 很粘或需要高温运行才能确保粉末中夹带的其他 副产品不在泵内部冷凝并卡住泵机构。 对于几乎所有产生粉末的制程，您将不得不使用 采用高扭矩电机的泵，以确保泵在应力下保持 旋转。化学气相沉淀化学气相沉淀(CVD)系统具有多种配置用于沉积多种类型的薄膜。

冷凝

半导体 制程的某些副产品含有气体，当气体分压 增加或与冷表面接触时，这些气体会从气 相变为固相。在泵送这些副产品时， 您将需要非常热的泵，是从入口到出口 具有尽可能一致的温度分布的泵。

腐蚀

有些制程 需要泵送卤化物。尤其是需要含氟的清洁制程来 保持舱室的清洁性，但被激的氟自由基 可能会侵蚀泵的内表面。如果制程主要使用 可能对泵造成腐蚀的***，您需要确保可以 将泵温度设置为一个较低值以降低腐蚀风险。我们的泵设计 具有可选的温度设和高旋转 速度以降低腐蚀风险并降低泵中不可避免 发生的总体材料损失速率。对于某些 CVD 制程，需要在温度设上 达到平衡，以确保避免任何冷凝问题， 同时不使腐蚀速度过高。IDX系列干泵抽速1000-1300m3／h，极限真空10-2mbar三、机械泵（油封旋片泵）EDWA***推出世界台双模式RV系列真空泵。