爱德华真空泵价位来电咨询 明胜机电设备

Drystar GV400和EH2600/EH4200泵组系列结合了经过实际应用检验的EDWARD爪式干泵和液压驱动增压泵；相对系统油封真空泵系统，它具有价格低廉、性能优良和结构紧凑等优点，是一套清洁、耐用的抽气系统。

   Drystar系统的非接触式装置减少了磨损和维护，开机时间更长，抽空时间更短。Drystar泵组、成本低，并且能够处理粉尘和水蒸汽，免除了油封真空泵系统因工艺污染而导致性能下降和需要频繁维护的***。

EM 系列泵是结实耐用的机械油封泵，抽速为 0.7 到 275 m3/hr（30 到 206 CFM）。这些泵结构紧凑，使用时非常安静，具备***的润滑回路，可靠性高，配有各种附件，可以满足特定的应用需求。爱德华iH系列真空泵维修EdwardiHseriesvacuumpumprepair维修型号：iH80、iH600、iH1000等爱德华是半导体和平板显示器工艺方面的供应商，集工艺实现技术，材料和服务于一体。 Edwa*** E2M80 油封式旋片真空泵 爱德华真空泵Edwa***真空泵 旋片泵 油回转高真空泵 爱德华 E2M80 油封式旋片真空泵 Edwa***真空泵

半导体加工我们继续革新技术解决方案，这些解决方案将会提升制程正常运转时间、产量、吞吐量与安全认证水平，同时通过减轻不利于环境的排放、延长产品使用寿命并降低持续服务成本，努力协调平衡往往相互冲突的更低拥有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及***每一家主要半导体工厂都采用了我们的系统，因为它们能够满足成熟制程与发展中制程的具体要求。提供干式真空泵、涡轮分子泵与使用点减排系统等各种系统，用来优化从轻负荷制程到超重负荷制程的各项应用的性能表现。 平版印刷平版印刷（即晶圆的图案形成）是半导体 制程中的一个关键步骤。虽然传统甚至浸润式平版印刷 一般不需要真空环境，但远紫外 (EUV) 平版印刷和电子束平版印刷却需要真空 泵。EDWARDE2M80爱德华真空泵维修惠州市明胜真空设备有限公司www。Edward可以让您有效应对这两种应用。

EUV 平版印刷泵送解决方案

多重图案形成技术有其存在的价值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因为轻型 EUV 系统 提供极短的波长。要让您的系统具有 性能，真空环境是关键。真空系统的 清洁性尤其重要，它有助于延长维修间隔。(注：使用环境比较恶劣要经常观察泵油颜色）3、检查油位镜，当泵油变成黄褐色转入黑色或变成乳白色，需要更换真空泵油。我们 与 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作开发了 精密真空系统，可为您进行的大型***提供 可靠性。

电子束平版印刷解决方案

电子束平版印刷在硅晶片的图案形成中 具有重要作用。低振动的清洁真空对于确保系统的精密性 和长正常运行时间至关重要。

我们的产品解决方案

您可能需要使用涡轮分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上实现超高真空。我们的 STP 系列 TMP 采用 完全磁悬浮转子以降低舱室污染风险并延长 维修间隔。目前开发的产品通过将控制器集成到 泵本身中来降低总成本和占地面积，不再需要 外部控制器和控制器与泵之间的沉重控制 电缆。适用于研发实验室的实验室真空系统我们提供丰富多样的真空产品，以应对当今研发实验室所面临的种种挑战。