爱德华干式真空泵免费咨询 惠州明胜机电

英国爱德华RV12油封旋片泵 功能，同时具备高真空和高吞吐量性能，超低的噪音级别和卓气囊装置，使其成为广泛适用于各种应用和环境的理想产品.爱德华 RV3、RV5、RV8、RV12 油

封式旋片真空泵，Edward真空泵，Edward RV 泵装有 Ultragrade 19 号油。这一油品

通过一系列添加剂专门调配，可提供高于任何其他矿物油的真空性能。正因如此，它既能提供受

到极严格控制的蒸汽压力，又具有极强的抗水化能力，可实现较长的使用寿命。

爱德华E2M80真空泵维修的（6）个流程

1.确认问题（如有需要，会在24小时内排出***技术人员赶赴现场确认爱德华真空泵故障）

2、取泵维修（在故障确认后精捷会给出具体维修周期、维修方案和可达到的效果并***取泵）                                        

3、拆开报价（为了让客户更清晰的知道维修费用，明胜把维修费用细分化、合理化            

4、确认维修（客户同意维修费用后开始维修，维修时刻现场观摩，维修后所换配件原封不动送还客户                                        

5、试机确认（确保维修过后达到真空度和稳定性能，真空度达到出厂标准）                  

6、送泵安装（在试机OK后24小时内，客户可当初验收真空泵，看试机运转效果）                     

7、定期维护（保修3个月内会不定期的回访，3个月后会有专门的***人员跟踪维护）

适用于锂离子电池制造设备的***真空泵制造商锂离子电池正在推动全世界的环保议程，可靠的高质量真空是其制造过程中的关键因素。我们有一系列适合所有电池制造需求的泵，这些泵由***服务和支持网络提供支持。 油封旋转式叶片泵：

低成本干泵：

可减少维护成本并降低环境影响智能泵：

高控制功能ATEX 认证版本：

安全操作

惠州市明胜机电设备有限公司制造销售各种真空泵，并提各类真空泵维修***服务（罗茨，螺杆，旋片式，干式，水环式等真空泵维修***）以及各类进口真空泵配件耗材。电子束平版印刷解决方案电子束平版印刷在硅晶片的图案形成中具有重要作用。服务品牌：普旭（博世）、里其乐、莱宝、贝克、爱发科、爱德华、大晃、斗一，阿尔卡特等进口真空泵。

化学气相沉淀化学气相沉淀 (CVD) 系统具有 多种配置用于沉积多种类型的薄膜。经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到低。制程 还以不同的压力和流量状态运行，其中的许多状态 都使用含氟的干燥清洁制程。所有这些可变因素意味着您 需要咨询我们的应用工程师之一来选择适当的泵 和气体减排系统以便大程度地延长我们产品的维修间隔并 延长您制程的正常运行时间。

干泵选择

CVD 制程通常需要通过选择适当的 干泵产品来克服四个特定挑战。这些挑战是：

粉末

许多制程会产生 大量粉末副产品。Drystar系统的非接触式装置减少了磨损和维护，开机时间更长，抽空时间更短。需要将真空泵设计成 能够处理这些粉末而不被卡住。在某些情况下，粉末实际上可能 很粘或需要高温运行才能确保粉末中夹带的其他 副产品不在泵内部冷凝并卡住泵机构。 对于几乎所有产生粉末的制程，您将不得不使用 采用高扭矩电机的泵，以确保泵在应力下保持 旋转。

冷凝

半导体 制程的某些副产品含有气体，当气体分压 增加或与冷表面接触时，这些气体会从气 相变为固相。在泵送这些副产品时， 您将需要非常热的泵，是从入口到出口 具有尽可能一致的温度分布的泵。

腐蚀

有些制程 需要泵送卤化物。尤其是需要含氟的清洁制程来 保持舱室的清洁性，但被激的氟自由基 可能会侵蚀泵的内表面。如果制程主要使用 可能对泵造成腐蚀的***，您需要确保可以 将泵温度设置为一个较低值以降低腐蚀风险。我们的泵设计 具有可选的温度设和高旋转 速度以降低腐蚀风险并降低泵中不可避免 发生的总体材料损失速率。对于某些 CVD 制程，需要在温度设上 达到平衡，以确保避免任何冷凝问题， 同时不使腐蚀速度过高。在高抽气量模式中，选择器开关会将油流量增加到高真空阶段，从而使泵在高入口压力下持续运行，而不会有任何磨损或润滑减少。